產品名稱 : Wafer單槽式清洗機
產品介紹

Wafer 單槽式自動清洗機-功能說明

  • 將6"~12"晶圓放置晶舟,利用純水搭配超音波清洗,再以N2烘乾,有效達到清洗潔淨效果。

Wafer 單槽式自動清洗機-功能簡介規格一覽

  • 單槽全自動化清洗
  • 個性化快速上手操作介面
  • 多重安全保護

Wafer 單槽式自動清洗機-功能簡介規格一覽

機型編號

適用WAFER尺寸

機身尺寸(單位:公分)

耗電量(KVA)

YF-68W
YF-812W

6"~8"Wafer
8"~12"Wafer

L170 x W150 x H250
L170 x W150 x H270

60
70

電源規格

AC 220V / 380V / 415V 3PHASE 50HZ / 60HZ